A medição por interferência de grade é uma importante tecnologia de medição nanométrica de alta precisão, que possui alta resolução, alta resistência a interferências e expansão multi-graus de liberdade, desempenhando um papel fundamental em cenários como máquinas de litografia de nós avançados e máquinas-ferramenta ultraprecisas. São comparadas as tecnologias de medição por interferência de grade, interferência a laser e medição por grade temporal, esclarecendo seus cenários de aplicação e parâmetros de desempenho atuais. São descritos os princípios técnicos das técnicas de diferença zero e heteródina na medição por interferência de grade, e, com base nisso, são analisadas as dinâmicas de desenvolvimento nacionais e internacionais dos interferômetros de grade, incluindo fabricantes representativos e os recentes avanços em sistemas de um e múltiplos graus de liberdade com precisão nanométrica e subnanométrica. Além disso, são analisadas e discutidas a precisão e os erros da medição por interferência de grade, apresentando as fontes de erro, suas classificações e os métodos compensatórios direcionados. Por fim, discute-se o estado atual e as perspectivas futuras dos interferômetros de grade, com a expectativa de fornecer referências para o desenvolvimento e otimização dos sistemas de interferômetros de grade.

medição precisa;medição nanométrica;interferômetro de grade;múltiplos graus de liberdade;compensação de erros