Os métodos tradicionais de medição por interferometria de luz branca são muito sensíveis a interferências causadas por vibrações, que provocam erros na etapa de varredura e, consequentemente, reduzem a precisão da medição por interferometria de luz branca. Para suprimir o efeito das vibrações, foi proposto um algoritmo de medição por interferometria de luz branca baseado no método do seno inverso de três pontos. O método do seno inverso de três pontos divide a sequência de interferogramas em grupos de três imagens consecutivas, utilizando a característica do movimento contínuo das franjas de interferência durante a varredura para calcular o desvio de fase a partir da região de franjas eficazes de cada grupo de interferogramas, obtendo assim a etapa de varredura real de cada interferograma. Com base na etapa de varredura real calculada, foi construído um método de mínimos quadrados para modulação e fase com etapas não uniformes, e a altura da superfície foi reconstruída. Como o cálculo da etapa utiliza apenas três interferogramas, o método do seno inverso de três pontos tem uma ampla resposta em frequência e pode detectar erros rápidos e grandes na etapa de varredura. Simulações e experimentos confirmam que o método do seno inverso de três pontos pode alcançar uma precisão de medição de até 0,5% sob interferência vibratória (altura do degrau de 10 μm) e é adequado para a medição de topografias superficiais de diversas configurações. Análises teóricas e experimentais mostram que o método do seno inverso de três pontos pode suprimir o impacto de várias formas de erro na etapa de varredura, sendo adequado para medições por interferometria de luz branca sob interferências vibratórias de banda larga.

Medição de topografia superficial; Interferometria de luz branca; Rugosidade; Vibração