Os métodos comuns para medir o erro de verticalidade incluem o método de instrumentos físicos, o método de medição de volume, o método de medição CCD, o método de medição de rede plana, o método de medição do rastreador a laser e o método do interferômetro a laser, que geralmente apresentam desvantagens como operação complicada, alto custo de uso ou incapacidade de realizar medição online. Portanto, foi proposto um método de medição online de verticalidade para plataforma de movimento multieixos baseado no princípio do interferômetro a laser, utilizando componentes como laser, prisma pentagonal dispersor, prisma pentagonal, espelho de interferência de linearidade e espelho refletor de linearidade para construir um dispositivo de medição de verticalidade multieixos por interferometria a laser. Através do design do caminho óptico, este dispositivo pode ser montado na plataforma de movimento multieixos a ser medida, permitindo medição online de verticalidade com alta eficiência e alta precisão. Finalmente, foi realizado um teste de comparação de precisão com o método de medição de verticalidade usando esquadro de granito. Os resultados do teste mostraram um desvio de 1,4″, desvio normalizado E_n<1, resultados ideais que demonstram a viabilidade do método.

metrologia;interferômetro laser;verticalidade;multieixos