Supressão do impacto das perturbações aleatórias do ar na medição de colimação a laser

DIAO Kuan ,  

LIU Xiaojun ,  

ZHAO Haiyu ,  

摘要

Considerando que o feixe colimado se propaga no ar e é afetado por perturbações aleatórias no ar, como variações aleatórias de temperatura, umidade e pressão, a referência linear de medição a laser apresenta tremores aleatórios, o que afeta a estabilidade e a precisão da medição de colimação a laser. Do ponto de vista do filtro do sinal de colimação a laser, foi proposto um método de supressão do impacto das perturbações aleatórias do ar que combina a decomposição empírica de modo (EMD) com ajuste de mínimos quadrados (LS); foi construído um esquema de processamento de sinal para decomposição, reconstrução e correção do sinal de colimação a laser, visando filtrar os sinais de interferência causados pelas perturbações aleatórias do ar; foram realizados experimentos para suprimir o impacto das perturbações do ar na referência linear a laser em diferentes condições, e comparados os efeitos do tratamento do sinal de colimação a laser por diferentes métodos. Os resultados experimentais mostram que o método proposto, após compensação do desvio do laser, reduz o desvio padrão das flutuações nas direções horizontal e vertical para 0,01 μm e 0,02 μm, respectivamente, resolvendo eficazmente o problema do impacto das perturbações aleatórias do ar na estabilidade da referência linear da medição de colimação a laser.

关键词

colimação a laser;referência linear;perturbações do ar;decomposição empírica de modo

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