A grade subcomprimento de onda unidimensional, como um dispositivo seletor de polarização compacto, facilmente integrável e com alta taxa de extinção, possui amplas perspectivas de aplicação nos campos de sensoriamento remoto, detecção de tensão em materiais e imagens anti-dispersão. Este artigo projeta um dispositivo seletor de polarização com grade subcomprimento de onda unidimensional, de alta taxa de extinção e alta transmitância, e implementa um método de fabricação eficiente. Primeiramente, com base na teoria do meio efetivo e no método de diferenças finitas no domínio do tempo, a grade foi projetada e simulada; foi desenvolvido um dispositivo de grade subcomprimento de onda unidimensional com estrutura metálica de dupla camada, amigável ao processamento por interferência holográfica, apresentando vantagens de razão de preenchimento estável e facilidade de transferência de padrão. Em seguida, foi construído um sistema de litografia a laser holográfica, completando o processamento de uma grade unidimensional de 30 mm × 30 mm com período de 800 nm, que em comparação aos métodos tradicionais, apresenta grandes vantagens em eficiência, custo e ajustabilidade do período. A transferência do padrão do fotoresiste para a grade metálica foi realizada por meio da gravação do substrato de silício e deposição do filme metálico. A grade fabricada apresenta transmitância média superior a 45% na faixa do infravermelho de 3~15 μm e taxa máxima de extinção de 30 dB.

litografia holográfica; grade metálica de dupla camada; grade subcomprimento de onda; seleção polarizadora