Para melhorar a precisão e a eficiência do processamento da matriz de microlentes asféricas para colimação de fibra óptica, foi realizada uma pesquisa aprofundada sobre os métodos e teorias de controle da precisão de processamento e compensação de erros de forma do molde da matriz de microlentes asféricas. Com base nas características da estrutura geométrica óptica do projeto da matriz de microlentes asféricas, foi proposto um método de fresamento helicoidal local com diamante para processar o material do molde de liga de fosforeto de níquel; considerando as características de alta temperatura dos materiais do molde e do vidro e os parâmetros do processo que podem causar erros de forma, foi proposto um método de compensação do molde da matriz de microlentes asféricas; através do design de compensação do contorno do molde, a precisão da moldagem por compressão foi melhorada, o desempenho óptico foi aprimorado, alcançando a fabricação de alta precisão da matriz de microlentes asféricas 10×10. Os resultados experimentais mostraram que o erro de forma PV da matriz de microlentes asféricas foi controlado entre 220~380 nm, e a rugosidade da superfície Ra atingiu 7~10 nm. Este método fornece uma via técnica eficaz para a fabricação em massa de alta precisão e alta eficiência da matriz de microlentes asféricas.

usinagem ultraprecisa; fresamento helicoidal de diamante; matriz de microlentes asféricas; moldagem de vidro por compressão; erro de forma