Influência da fixação por sucção a vácuo no controle da forma da lente

WANG Xi ,  

YAO Peng ,  

BAI Jiarong ,  

LIU Xiang ,  

LI Fengguo ,  

CHU Dongkai ,  

HOU Shijie ,  

WEI Zonglei ,  

摘要

A fixação por sucção a vácuo pode fazer com que a lente seja submetida a uma força uniforme, reduzindo arranhões na superfície, sendo amplamente utilizada no campo de processamento e montagem de sistemas óptico-mecânicos. Para estudar o efeito da sucção a vácuo na forma superficial de lentes planas finas, foi analisada a influência de diferentes estados de contato e diferentes níveis de vácuo entre a lente e o dispositivo de fixação com base na teoria de deformação de placas circulares simplesmente apoiadas e na teoria de placas finas. Foi estabelecido um modelo acoplado fluido-estrutura para analisar o impacto de diferentes condições de pressão negativa na forma da lente, validando a viabilidade do método de controle da forma da lente por sucção a vácuo. Por fim, através de experimentos de fixação por sucção, foram analisadas as mudanças na forma da lente antes e depois da pressão negativa. Os resultados experimentais mostram que, antes e depois da sucção sob pressão negativa, o erro de forma da superfície adsorvida da lente foi reduzido de 10 μm para menos de 7 μm; a folga entre a lente e o dispositivo de fixação foi reduzida de 9 μm para menos de 4 μm, com um valor mínimo de 0,8 μm. A sucção sob pressão negativa fez com que a forma da superfície adsorvida da lente estivesse mais próxima da forma do dispositivo de fixação, validando a eficácia do método de controle da forma da lente por sucção a vácuo. O método proposto neste artigo para controlar a forma da lente por fixação por sucção a vácuo para melhorar a precisão do processamento e montagem pode reduzir efetivamente o impacto do erro inicial da forma da lente nos sistemas óptico-mecânicos.

关键词

sucção a vácuo; lentes planas; dispositivo de fixação com orifícios de sucção; deformação de fixação; controle da forma

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