Plataforma de movimento paralelo piezoelétrica adesiva deslizante de três graus de liberdade

MENG Lingwei ,  

YANG Yiling ,  

WU Gaohua ,  

CUI Yuguo ,  

WEI Yanding ,  

摘要

Atendendo aos requisitos de desempenho de grande curso, alta precisão, alta carga e múltiplos graus de liberdade em tarefas de punção celular, micromanipulação e microassemblagem, foi projetada uma plataforma de movimento paralelo piezoelétrica com acionamento adesivo deslizante e três graus de liberdade, utilizando um mecanismo flexível piezoelétrico. Foram coladas placas de fibra piezoelétrica ao mecanismo de acionamento em arco, formando a unidade de acionamento que, combinada com o atuador adesivo deslizante, realiza movimentos de grande amplitude e alta precisão da plataforma paralela. O suporte cilíndrico reforça a capacidade de carga da plataforma, e os rolamentos cardan reduzem o atrito não acionado da plataforma móvel, melhorando o desempenho geral do movimento. Um modelo estático da unidade de acionamento flexível em arco foi construído pelo método dos elementos finitos, com análise por simulação do deslocamento de saída e frequência própria. Por fim, foi montado um sistema experimental para validar o desempenho da plataforma. Os experimentos mostraram que, no modo de passo, o deslocamento máximo por passo da plataforma adesiva deslizante piezoelétrica na translação ao longo dos eixos X e Y atinge 294,7 μm e 304,5 μm, respectivamente; o ângulo máximo de rotação por passo em torno do eixo Z é de 9,96 mrad; e a carga vertical máxima é de 110 N; no modo de varredura, as resoluções de deslocamento na translação e rotação são de 6 nm e 0,28 μrad, respectivamente. Portanto, a plataforma paralela piezoelétrica adesiva deslizante projetada atende aos requisitos de desempenho necessários para tarefas de microoperação precisas.

关键词

acionamento piezoelétrico; mecanismo flexível; movimento adesivo deslizante; três graus de liberdade

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