Para melhorar a aplicabilidade da medição interferométrica heteródina fora do campo total, reduzir o impacto das ondas parasitas e da mistura de frequências nos resultados da interferometria, e alcançar medições interferométricas dinâmicas de alta precisão e baixo ruído, foi proposta uma nova configuração de interferômetro baseada em prismas duplos. Este sistema pode ser aplicado à tecnologia de medição interferométrica dinâmica heteródina fora do campo total, resolve o impacto da mistura de frequências nos resultados da medição, reduz ainda mais o efeito das ondas parasitas nos resultados da medição, e utiliza luz ideal emitida por fibra óptica para substituir a superfície de referência, evitando que a não uniformidade da superfície de referência afete a precisão da medição. A configuração básica do interferômetro foi explicada, o princípio da medição descrito, realizada a modelagem e simulação das ondas parasitas da estrutura de prismas duplos proposta, discutido o erro devido à mistura de frequências, e realizadas verificações experimentais das ondas parasitas e da mistura de frequências. Os resultados experimentais mostram que: as ondas parasitas na estrutura divergente diferem das ondas parasitas na estrutura de luz paralela em até um fator de 3,2; essa configuração não é afetada por fatores de mistura; e ao medir um elemento com refletância de 3%, o erro introduzido na medição da forma da superfície é melhor do que a configuração Tieman em 0,0155λ, consistente com os resultados da simulação. A técnica de medição interferométrica heteródina fora do campo total baseada em prismas duplos melhora a aplicabilidade da medição, reduz o impacto das ondas parasitas e da mistura nas medições de baixa frequência do interferômetro, suprime o impacto da mistura e melhora ainda mais a precisão da medição do interferômetro.

medição interferométrica; configuração de prismas duplos; heteródina fora do campo total; ondas parasitas; mistura