Estudo da tecnologia de medição do deslocamento central baseada em interferometria heteródina de campo total

YANG Yongkang ,  

LIU Anqi ,  

ZHANG Wenxi ,  

WU Zhou ,  

摘要

Para atender às crescentes demandas de precisão na medição do deslocamento central de lentes ópticas, este artigo propõe um método de medição do deslocamento central baseado em interferometria heteródina de campo total. O método utiliza o eixo óptico real da lente como referência de medição, obtendo o frente de onda através da medição das franjas de interferência geradas pelo feixe refletido da lente medida e o feixe de referência, e realizando o ajuste por polinômios de Zernike. Em seguida, os coeficientes dos termos de inclinação de Zernike são convertidos para o deslocamento central da lente medida, alcançando uma medição de alta precisão do deslocamento central e eliminando a dependência de uma mesa rotativa externa. Com base no princípio da interferometria heteródina e na detecção do deslocamento central, foi analisado o impacto das flutuações da intensidade do laser e da frequência heteródina no frente de onda e nos resultados da medição do deslocamento central. Os resultados mostram que o erro de medição está positivamente correlacionado com as flutuações da intensidade do laser e da frequência heteródina, e que é influenciado pela curvatura da lente testada e pelo deslocamento central. Foi construído um sistema de medição do deslocamento central baseado em interferometria heteródina, alcançando medições de alta precisão e comparando com os resultados da simulação. Os resultados da simulação indicam que a precisão de medição do sistema não é inferior a 0,06″, e os resultados foram validados experimentalmente. Os resultados da pesquisa mostram que, em comparação com os métodos tradicionais de medição do deslocamento central baseados em autocollimação, o método de interferometria heteródina pode alcançar maior precisão de medição.

关键词

interferometria heteródina; medição interferométrica; deslocamento central; equipamento de ajuste

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