Compensação do erro de refração das duas telas no sistema de medição de desvio de fase direta

TIAN Xiuxiu ,  

NI Yubo ,  

MENG Zhaozong ,  

GAO Nan ,  

YANG Zeqing ,  

ZHANG Guofeng ,  

YIN Wei ,  

ZHAO Hongwei ,  

ZHANG Zonghua ,  

摘要

No sistema de desvio de fase direta, devido à estrutura especial do visor de cristal líquido (LCD) e do visor transparente (TD), a luz sofre refração durante o processo de medição, causando um desvio de fase. Portanto, foi proposta uma metodologia para compensar o erro de refração do LCD e do TD no sistema de compensação. Este método modela as duas telas como uma única camada transparente, utilizando um algoritmo de rastreamento de raios para estabelecer um modelo de erro de refração durante o processo de medição, analisar o trajeto de propagação da luz e determinar os parâmetros necessários para resolver o desvio de fase. Em seguida, utilizando tecnologia de visão estéreo múltipla combinada com um algoritmo de reflexão da região de confiança otimizado, calibra os parâmetros de refração das duas telas, e então, com base nas relações geométricas do sistema, analisa o ângulo de refração durante o processo de calibração. Por fim, utilizando as fórmulas derivadas, compensa as informações de profundidade no sistema, corrigindo pixel a pixel o desvio de fase para melhorar a precisão do sistema de medição. Os resultados experimentais mostram que, após compensar o erro de refração pelo método proposto, o erro absoluto máximo entre as superfícies em degrau aneladas espelhadas foi reduzido de 33 μm para 21 μm, na medição do espelho côncavo combinado com o espelho plano, o erro quadrático médio da forma da superfície foi reduzido de 38,55 μm para 24,92 μm, e a precisão geral do sistema de medição pode ser melhorada em 30% a 40%. Este método reduz eficazmente o erro de refração das duas telas e melhora a precisão da medição da topografia tridimensional das superfícies espelhadas do sistema.

关键词

medição 3D; medição de desvio de fase direta; visor de cristal líquido; visor transparente; erro de refração

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