Características do erro da grade temporal bidimensional de grande escala e estudo experimental

CHEN Ziran ,  

LIU Zhenyue ,  

PENG Kai ,  

OUYANG Hui ,  

ZHENG Yonghai ,  

摘要

Diante dos problemas dos sensores tradicionais de deslocamento plano bidimensional do tipo grade raster, como estrutura complexa e rigorosos requisitos de fabricação da grade para medições de deslocamento plano em grande escala, propõe-se um método combinado de medição de deslocamento bidimensional plano baseado em "decomposição dimensional + desacoplamento de deslocamento". Por meio de uma estrutura sensorial periódica espacial, construiu-se um campo magnético ortogonal variável e estabeleceu-se uma relação de mapeamento entre o deslocamento bidimensional plano e a referência temporal. Estudou-se o impacto dos erros de instalação do sensor na precisão da medição bidimensional, enfatizando a análise dos erros de medição de deslocamento bidimensional causados pelas atitudes de rolagem, arfagem e guinada por meio de modelagem, simulação e verificação experimental. Os resultados experimentais mostram que os erros de instalação introduzem principalmente componentes DC, erros harmônicos de 2ª e 4ª ordem na medição bidimensional. Quando a folga de ar entre a régua móvel e a fixa é de 0,6 mm, dentro de uma faixa de medição de 240 mm × 240 mm, o erro de medição na direção X não excede ±8,6 μm, e na direção Y não ultrapassa ±8,8 μm, com resolução de 0,15 μm. A utilização de uma unidade sensorial na escala milimétrica permite alcançar precisão de medição em nível micrométrico dentro da faixa de 240 mm × 240 mm, o que tem importante valor teórico e aplicação de engenharia.

关键词

grande escala; medição de deslocamento bidimensional; sensor de grade temporal; análise de erro

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