Atuador rotativo piezoelétrico de alto desempenho baseado em compensação ativa de inércia

YU Haiyang ,  

YAN Peng ,  

MENG Lingchen ,  

摘要

Para suprimir o movimento de recuo evidente do rotor de baixa inércia e alcançar um movimento de atrito aderente eficiente e estável, foi proposto um novo projeto de atuador rotativo piezoelétrico baseado na compensação ativa de inércia. Através da compensação ativa de inércia e da otimização da temporização da tensão de acionamento, realiza-se a supressão do movimento de recuo do rotor, melhorando assim a velocidade e a suavidade do movimento. Baseando-se no método de compensação ativa de inércia, foi analisado o princípio de funcionamento do atuador. A estrutura do atuador foi analisada e simulada, e a viabilidade do método foi verificada teoricamente ao comparar os efeitos com e sem compensação ativa de inércia. Foi construído um sistema experimental para acionar o rotor de baixa inércia e foram realizados vários testes de desempenho de saída. Os resultados experimentais mostraram que a compensação ativa de inércia pode suprimir 79,77% do ângulo de recuo do rotor, que o atuador rotativo piezoelétrico baseado nesta compensação tem uma resolução mínima de 1,12 μrad e alcança uma velocidade máxima de 813,85 mrad/s. Este método permite um movimento de atrito aderente eficiente e estável para o rotor de baixa inércia, alcançando uma saída de alto desempenho para o atuador rotativo piezoelétrico, com grande potencial de aplicação em áreas ultra-precisas, como manipulação micro e nano.

关键词

compensação ativa de inércia; movimento de atrito aderente; rotor de baixa inércia; supressão de recuo; atuador rotativo

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