Para aprimorar a capacidade da função de remoção de feixe fino em corrigir erros de forma de superfície cuja comprimento de onda espacial é próximo ao seu tamanho característico, foi realizada uma análise e otimização da taxa de convergência do processamento por feixe iônico com diâmetro milimétrico. Foi proposta uma metodologia de análise da capacidade de conformação baseada no processamento da "textura de concha" em múltiplas bandas da forma da superfície. Por meio da análise da distribuição no domínio de frequência da densidade quadrática média, da taxa de convergência em cada banda de frequência e dos resultados do processamento das amplitudes de forma de diferentes períodos, avaliou-se quantitativamente a capacidade de correção de erros inter-bandas da função de remoção de feixe fino. Com base nisso, foi desenvolvida uma estratégia de compensação de processamento, propondo um método de otimização da taxa de convergência baseado na compensação do tempo de permanência por filtragem no domínio da frequência, que aumentou a taxa de convergência das bandas corrigíveis, sendo verificada por simulação e experimentos. Os resultados experimentais demonstraram que o método de processamento da "textura de concha" pode realizar uma análise eficiente da capacidade de correção de erros multiperíodo da função de remoção, e que o método de compensação do tempo de permanência pode melhorar eficazmente a taxa de convergência por ciclo dentro da banda corrigível para a função de remoção de feixe fino. Para a banda crítica (0,186~0,385 mm ^-1) onde ocorre uma mudança na capacidade de convergência da função de remoção com largura semilargura de 2 mm, a taxa média de convergência real aumentou de 76,4% para 91,7%. Este método ajuda a alcançar a convergência uniforme do erro em todas as bandas durante o processamento da função de remoção de feixe único, sendo adequado para o processamento de componentes ópticos de alta precisão.

usimagem ultraprecisa; conformação por feixe iônico; tempo de permanência; taxa de convergência; função de remoção de feixe fino; capacidade de conformação