A forma asférica fora do eixo é assimétrica e a variação da curvatura da sua superfície é não linear, trazendo desafios para a medição de alta precisão da forma da superfície. Para resolver o problema da alta dependência dos métodos atuais de medição da forma asférica fora do eixo no ajuste inicial da peça a ser medida e na dificuldade de adaptação às mudanças na curvatura, este artigo propõe um método de medição adaptativa asférica fora do eixo confocal diferencial baseado em restrições espaciais, para realizar a medição sem dependência da posição inicial, adaptação às mudanças de curvatura e alta precisão. Primeiramente, de acordo com o princípio da medição por varredura de translação-rotação e o desempenho de foco preciso resistente ao ângulo de inclinação da superfície da tecnologia confocal diferencial, foi construído um modelo de restrição espacial a partir das dimensões de distância e ângulo entre os pontos de medição planejados e os pontos a medir. Com base nesse modelo, o algoritmo de planejamento do caminho de varredura em espiral sob o critério de área igual foi otimizado para realizar o ajuste dinâmico adaptativo da curvatura do caminho de medição da forma asférica fora do eixo. Este método foi usado para experimentar a medição da forma asférica fora do eixo e de um plano inclinado de 20°, e os resultados da medição foram comparados ponto a ponto com os do interferômetro Zygo. O valor da raiz quadrada média do erro (RMS) da diferença da forma foi inferior a 10 nm, correspondente a 3σ inferior a 5 nm, atendendo aos requisitos de medição de alta precisão das formas asféricas fora do eixo.

restrições espaciais;confocal diferencial;asférica fora do eixo;medição adaptativa;planejamento de trajeto