Projeto do sistema de bloqueio de fase das franjas de interferência de exposição holográfica
摘要
Para fabricar grades holográficas de alta qualidade e melhorar a estabilidade das franjas no sistema de exposição por divisão de amplitude, foi analisado o efeito de diferentes dispositivos divisores de feixe na estabilidade das franjas, e projetado um sistema de bloqueio de fase das franjas de interferência da grade holográfica. Com base no princípio da exposição por interferência e no impacto do deslocamento das franjas no contraste de exposição, foram analisados os requisitos de direcionamento da fonte de luz ao usar diferentes dispositivos espectrais, e proposto um método de detecção de variações nas franjas de interferência, baseado nas franjas Moiré da grade de referência. Selecionando os dispositivos detectores e atuadores adequados, foi projetado um sistema de bloqueio em malha fechada da fase das franjas, baseado em um microcontrolador STM32 combinado com um algoritmo PID. Os resultados experimentais mostram que este sistema de bloqueio pode alcançar uma frequência de controle de 1 kHz, possui um bom efeito para suprimir o deslocamento de baixa frequência na faixa de 0 a 3 Hz, e o valor RMS do deslocamento das franjas após o bloqueio é <inline-formula><alternatives><math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" id="M1"><mn mathvariant="normal">0.004</mn><mtext> </mtext><mn mathvariant="normal">7</mn><mi>λ</mi></math><graphic specific-use="big" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/FA216E32-63CF-4c8d-AAD6-BFAB0B72292A-M001.jpg"?></graphic><graphic specific-use="small" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/FA216E32-63CF-4c8d-AAD6-BFAB0B72292A-M001c.jpg"?></graphic></alternatives></inline-formula>. Quando a estabilidade do direcionamento da fonte de luz é ruim, o uso da divisão espectral de grade combinada com bloqueio de fase de ponto único no sistema de exposição pode atender aos requisitos de estabilidade das franjas de interferência para a fabricação de grades de grande formato.
关键词
Grade holográfica;Bloqueio de fase;Franjas Moiré;Controle em malha fechada
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