Relação entre o erro de forma da lente e os indicadores de desempenho do padrão Fabry-Perot

YU Han ,  

JIANG Yi ,  

摘要

Para o controle determinístico dos erros de forma da lente durante o processo de fabricação das lentes padrão Fabry-Perot, este artigo investiga profundamente a relação entre o erro de forma da lente e o desempenho do padrão Fabry-Perot. Através da criação de um modelo teórico do impacto do erro de forma no espectro de transmissão do padrão, é realizada uma análise quantitativa do impacto do erro de forma nos principais indicadores de desempenho do padrão, promovendo a otimização do processo e dos parâmetros de controle de forma. O estudo revelou uma boa relação linear entre a média do erro de forma e o comprimento de onda central do pico do espectro de transmissão do padrão, derivando teoricamente um coeficiente de sensibilidade para o deslocamento do comprimento de onda central de 1,65 pm/nm. O valor pico a pico do erro de forma influencia a expansão da largura de banda do espectro e a atenuação da transmitância do pico; quando o valor pico a pico é inferior a λ/40 (15,8 nm), a largura de banda e a transmitância do pico convergem progressivamente. Para validar o modelo teórico, foi construído um sistema experimental de teste do espectro de transmissão do padrão com precisão na escala de picômetros; através da verificação qualitativa pela abertura de passagem de luz e da análise quantitativa dos erros de forma, ficou claro que a uniformidade da forma da parte central afeta mais o desempenho do padrão do que a parte da borda, foram estabelecidos limiares de controle de erros de forma que atendem aos indicadores de desempenho e, com base nisso, foram realizados experimentos de desenvolvimento do padrão. Os resultados experimentais mostraram que, ao controlar o valor pico a pico da parte central dentro de 10 nm, a transmitância máxima de um padrão de 30 mm de diâmetro alcançou 98,63%, e foi realizada filtragem de banda estreita de 32,8 pm no comprimento de onda central de 532,199 nm, aproximando-se do limite teórico de projeto. Esta conclusão tem grande valor aplicado para a produção e o processamento de padrões de alta precisão com alta transmitância, largura de banda estreita e estabilidade de comprimento de onda central na escala de picômetros.

关键词

erro de forma;padrão;valor pico a pico;Fabry-Perot

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