Experimento de processamento por jato de água assistido por laser para microestruturas de supressão da emissão secundária de elétrons na superfície do aço inoxidável 316L

XU Xiangyue ,  

YAO Yanru ,  

CHU Dongkai ,  

LIU Xuefei ,  

摘要

Para reduzir a taxa de emissão secundária de elétrons na superfície do aço inoxidável 316L, foram projetados arranjos de sulcos e grades capazes de reduzir essa taxa na superfície do aço inoxidável. A tecnologia de jato de água assistido a laser foi utilizada para processar os arranjos projetados e medir a taxa de emissão secundária de elétrons na superfície. Primeiro, foram projetados sulcos e arranjos de grades para reduzir a quantidade de elétrons secundários usando o software de simulação CASINO. Em seguida, o método de superfície de resposta foi usado para estudar o efeito dos parâmetros do processo de jato de água assistido por laser na proporção profundidade/largura dos sulcos, obtendo um modelo de regressão para prever essa proporção e obter a combinação de parâmetros de processamento para alcançar a proporção máxima. Por fim, foi realizado o processamento por jato de água assistido por laser dos sulcos e arranjos de grades, e a taxa de emissão secundária de elétrons na superfície foi medida. Os resultados experimentais mostram que a taxa de emissão secundária de elétrons na superfície dos sulcos e grades diminuiu significativamente, com picos de emissão secundária de elétrons de 1,48 e 1,25, respectivamente, uma redução de 36,50% e 46,35% em relação ao pico de emissão de 2,33 da superfície não processada. Os arranjos de sulcos e grades apresentam bom desempenho na supressão da taxa de emissão secundária de elétrons na superfície do aço inoxidável 316L.

关键词

jato de água assistido por laser; aço inoxidável 316L; emissão secundária de elétrons; microfabricação a laser nano

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