Medição de deformação superficial por interferometria de manchas de cisalhamento bidirecional controlada por fase

QI Siyuan ,  

FANG Weidong ,  

LIU Yilong ,  

CHANG Qing ,  

GAO Shuai ,  

WANG Shengjia ,  

摘要

Para o problema da sensibilidade direcional na interferometria de manchas de cisalhamento unidirecional, propõe-se uma técnica de interferometria de manchas de cisalhamento bidirecional baseada no controle de fase. Esta técnica considera as operações de imageamento, cisalhamento e deslocamento de fase na interferometria de cisalhamento como transformações de fase do sistema sobre a luz do objeto. Utilizando duas lentes de difração de Fresnel acopladas coplanares que produzem duas imagens deslocadas lateralmente no plano da imagem, forma-se a interferência de cisalhamento. Ao carregar dinamicamente uma máscara de fase de lente dupla com diferentes linhas de base de fase em um modulador espacial de luz líquida (LC-SLM), gera-se o padrão de interferência de cisalhamento com deslocamento de fase, utilizando o método de deslocamento de fase temporal para resolver a fase. Os resultados experimentais mostram que o sistema de interferometria de manchas de cisalhamento bidirecional com controle de fase pode ajustar livremente a direção e o tamanho do cisalhamento, além de introduzir um deslocamento de fase temporal controlável; na reconstrução da fase deformada com cisalhamento unidirecional, o nível de erro na direção não cisalhada é de 3.5 a 4.6 vezes maior que na direção de cisalhamento; utilizando a reconstrução de fase de cisalhamento bidirecional, os erros nas direções de cisalhamento são baixos e consistentes, com uma variação de erro de 8% entre as duas direções. A técnica de interferometria de manchas de cisalhamento bidirecional com controle de fase apresenta estrutura simples e alta integração, oferecendo uma solução de interferometria óptica de comprimento de onda único, polarização única, câmera única e abertura única para medições de deformação de alta precisão.

关键词

medição por interferência; interferência de cisalhamento; controle de fase; deslocamento de fase temporal; medição de deformação superficial

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