Para suprimir a vibração da superfície do espelho de deformação piezoelétrica único durante a operação, foi proposto um método de supressão da vibração do espelho de deformação piezoelétrica único baseado na formação de entrada. A estrutura do espelho de deformação piezoelétrica única foi analisada e um modelo dinâmico foi construído. Por meio de análise de simulação de software, foi analisado o efeito do formador de entrada na curva de resposta do passo do espelho de deformação piezoelétrica única para a supervibração e tempo de ajuste, e validado em uma plataforma experimental. Finalmente, através da simulação da reconstrução da forma da superfície do espelho, analisou-se o efeito de supressão de vibração da técnica de formação no controle real do espelho. Os resultados experimentais mostraram que, com a utilização do formador de entrada na frequência de controle de 5 kHz, o excesso de vibração do espelho de deformação piezoelétrica única caiu de 32,1% para quase 0, e o tempo de ajuste caiu de 4,30 ms para 0,57 ms. Além disso, durante o processo de simulação de reconstrução do espelho, o excesso de vibração caiu de 34% para menos de 1%, e o tempo de ajuste caiu de 3,95 ms para 0,58 ms, aumentando a velocidade e precisão do controle do espelho. O formador de entrada projetado pode suprimir efetivamente a vibração do espelho de deformação piezoelétrica única.

Espelho de deformação piezoelétrica única; Formação de entrada; Supressão de vibração; Sistema óptico adaptativo