Para suprimir a vibração da superfície do espelho deformável piezoelétrico único durante o funcionamento, foi proposto um método de supressão de vibração baseado na modelagem da entrada. Através da análise da estrutura do espelho deformável piezoelétrico único, foi construído um modelo dinâmico. Usando simulação de software, analisou-se o efeito do modelador de entrada sobre o sobressinal de deslocamento e o tempo de ajuste na curva de resposta ao degrau do espelho deformável piezoelétrico único, e em seguida foi montada uma plataforma experimental para validação. Por fim, através da simulação da reconstrução da forma do plano de desfocagem do espelho, analisou-se o efeito da técnica de modelagem no controle real do espelho para a supressão de vibração. Os resultados experimentais mostram que, na frequência de controle de 5 kHz, após a adoção do modelador de entrada, o sobressinal de deslocamento do espelho deformável piezoelétrico único caiu de 32,1% para quase 0, e o tempo de ajuste foi reduzido de 4,30 ms para 0,57 ms. Além disso, durante o processo de simulação da reconstrução do espelho, o sobressinal caiu de 34% para menos de 1%, e o tempo de ajuste foi reduzido de 3,95 ms para 0,58 ms, melhorando a velocidade e a precisão do controle do espelho. O modelador de entrada projetado pode suprimir eficazmente a vibração do espelho deformável piezoelétrico único.

espelho deformável piezoelétrico único; modelagem da entrada; supressão de vibração; sistema óptico adaptativo