Para alcançar medições de alta precisão em superfícies complexas, foi estabelecido um sistema de medição por reflexão de franjas baseado na técnica de deflexão de medição de fase. Foram estudados o design estrutural do sistema de medição, composto por câmera, tela de exibição e peça a ser medida, a calibração do sistema e algoritmos de detecção. De acordo com o tamanho e as características da superfície da peça, foram selecionados displays e câmeras de alta qualidade, que foram calibrados separadamente. Utilizou-se uma máquina de medição de braço articulado de alta precisão para determinar a relação espacial entre os três elementos, combinando análise de simulação assistida por computador & CODEV para calibrar o sistema. Por fim, utilizou-se um algoritmo de reconstrução integral para realizar a detecção de alta precisão das superfícies complexas. Os resultados experimentais mostram que este sistema de medição alcançou uma precisão comparável ao LUPHOScan e ZYGO&CGH, com precisão de medição RMS da frente de onda superior a λ/50. O sistema possui estrutura simples, amplo alcance dinâmico e forte capacidade anti-interferência, melhorando a eficiência e precisão na medição de superfícies complexas. Atende aos requisitos de precisão de detecção, garantindo o processamento e montagem dessas peças, promovendo a melhoria eficaz do desempenho dos equipamentos.

medição óptica;superfície complexa;reflexão de franjas;técnica de deflexão de medição de fase;reconstrução integral