Dispositivos ultraprecisos são componentes-chave de equipamentos nacionais importantes e instrumentos avançados, cujas dimensões geométricas geralmente variam de algumas centenas de micrômetros a algumas centenas de milímetros, com requisitos de precisão que chegam a dezenas a centenas de nanômetros. Para garantir a qualidade desses dispositivos, é necessário realizar medições ultraprecisas de sua morfologia tridimensional. Este artigo revisa primeiramente os avanços na pesquisa de máquinas de medição por coordenadas micro-nano (Coordinate Measuring Machine, CMM), resumindo sistematicamente o design da estrutura completa do equipamento, técnicas de compensação de erros, desenvolvimento de sondas nano, controle do ambiente de medição e testes de aplicação do equipamento completo. Em seguida, apresenta detalhadamente os resultados de pesquisa e os avanços mais recentes da equipe ao longo de quatro gerações de protótipos. Além disso, discute um método inovador de modelagem e compensação de erros espaciais baseado nos princípios de Abbe e Brian, que permitiu medições com precisão em nível nanométrico de características internas com dimensões inferiores a 100 μm e alta relação profundidade-largura. Por fim, são prospectadas as futuras direções de pesquisa e aplicações das máquinas de medição por coordenadas micro-nano.

medição de precisão;sistemas microeletromecânicos (MEMS);máquinas de medição por coordenadas (CMM);estruturas com alta relação profundidade-largura;sondas nano;erro de Abbe;compensação de erros espaciais