Tecnologia de supressão de erro de apontamento dinâmico de alinhamento diferencial de alta precisão

LIANG Yuhuan ,  

WU Zhonghuai ,  

RU Hongwu ,  

WANG Yun ,  

QIU Lirong ,  

ZHAO Weiqian ,  

摘要

O apontamento de alta precisão é o padrão para a medição angular, determinando a precisão da medição, e desempenha um papel importante no campo da medição de precisão. Para enfrentar o problema do impacto na precisão do apontamento causado pela separação entre o ponto de máxima intensidade luminosa e o centro de energia devido à distorção da mancha luminosa durante o processo de apontamento, foi proposta uma técnica de supressão de erro de apontamento dinâmico de alinhamento diferencial de alta precisão. Ao adicionar uma dupla fenda na frente do detector para moldar e filtrar a mancha luminosa e obter um sinal de intensidade luminosa de dois canais, realiza-se uma operação diferencial nos dois sinais para conseguir a separação do erro e a compensação do sinal. Com base na alta sensibilidade ao ponto zero da curva de resposta de intensidade luminosa do alinhamento diferencial, obtém-se uma localização precisa da mancha luminosa, eliminando o impacto da distorção da mancha na precisão do apontamento. Análises teóricas e resultados experimentais preliminares mostram que esta técnica pode suprimir eficazmente o erro de apontamento causado pela distorção da mancha luminosa, com repetibilidade de apontamento de até 0,03″ e precisão de medição angular de até 0,1″. Em comparação com a tecnologia atual de localização do centróide, esta técnica oferece melhor repetibilidade de apontamento e alta precisão de medição angular, fornecendo uma solução técnica prática para sistemas dinâmicos de medição angular a laser de alta precisão.

关键词

medição angular;detector de quatro quadrantes;erro de apontamento;alinhamento diferencial;medição angular dinâmica

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