Para melhorar a resolução do método de contagem de franjas na medição de deslocamento por interferometria de auto-mistura a laser, foi projetado um sistema de medição de microdeslocamento de interferometria de auto-mistura com laser de fibra dopado com érbio de modo único de dupla frequência. Este sistema pode emitir dois sinais de interferência de auto-mistura com fases opostas, utilizando um método de limiar ótimo para subdividi-los e obter pontos característicos contáveis com resolução de λ/8, e reconstruir o deslocamento medido por interpolação spline cúbica. Foram investigadas as características da interferometria de auto-mistura do laser de fibra dopado com érbio de modo único de dupla frequência e os erros de medição de microdeslocamento. Os resultados experimentais mostraram que, quando o espelho alvo mede vibrações periódicas com frequência de 3~9 Hz e amplitude entre 2~11 μm, o erro de medição de microdeslocamento varia entre 96~105 nm, com erro médio de medição de 100,2 nm e erro relativo médio de 1,98%. O projeto deste sistema de medição de microdeslocamento de interferometria de auto-mistura com laser de fibra dopado com érbio de modo único de dupla frequência é simples, viável e possui amplas perspectivas de aplicação.

Laser de fibra;interferometria de auto-mistura a laser;dupla frequência de modo único;subdivisão de franjas;medição de microdeslocamento