При обработке кварцевого стекла неизбежно возникает повреждение подповерхностного слоя, и обнаружение повреждений подповерхностного слоя кварцевого стекла всегда было важным аспектом оптимизации технологии обработки кварцевого стекла. В данной работе, объединяя методы поляризационного лазерного рассеяния и лазерной конфокальной микроскопии, предложен метод неразрушающего контроля подповерхностных повреждений кварцевого стекла на основе поляризационного лазерного конфокального метода, а также построена система неразрушающего контроля. Проведен контроль подповерхностных повреждений кварцевого стекла, обработанного с использованием различных алмазных шлифовальных жидкостей, и проведена верификация результатов контроля на тех же образцах кварцевого стекла методом микроскопии поперечных сечений с разрушающим контролем. По сравнению с результатами неразрушающего и разрушающего контроля, относительная ошибка глубины подповерхностных повреждений составляет менее 5%, а конфигурация подповерхностных трещин в основном совпадает. Результаты показывают, что метод неразрушающего контроля на основе поляризационного лазерного конфокального метода может реализовать количественный и беспрепятственный контроль подповерхностных повреждений при шлифовке кварцевого стекла. Данное исследование может предоставить эффективное средство контроля для дальнейшей оптимизации технологического процесса обработки кварцевого стекла.

подповерхностные повреждения; поляризационное лазерное рассеяние; конфокальная микроскопия; метод поперечных сечений; кварцевое стекло