Микроперемещающая платформа является ключевым компонентом для обеспечения высокоточного позиционирования. Традиционные платформы имеют мало степеней свободы и низкое разрешение, что не удовлетворяет требованиям применения. Поэтому был предложен и проверен структурный вариант микроперемещающей платформы с шестью степенями свободы и высокой точностью. В общей конструкции используется совместное последовательное и параллельное гибридное приведение и полая структура, при этом движение шести степеней свободы рационально распределено между тремя слоями: плоским, вращательным и опорным. Был разработан и создан система управления движением платформы и сопутствующее программное обеспечение для управления. Экспериментальные результаты показали, что линейные перемещения по осям X, Y и Z лучше 20, 20 и 37 мкм соответственно, угловые перемещения лучше 39″, 33″ и 27″ соответственно; разрешающая способность линейных перемещений лучше 0,7 нм, а угловых перемещений лучше 0,1″. Предложенная шестистепенная микроперемещающая платформа по сравнению с традиционными платформами обладает большим количеством степеней свободы и чрезвычайно высокой разрешающей способностью, что обещает широкое применение в сверхточной обработке и микроэлектронном производстве.

микроплатформа;субнанометровое разрешение;шесть степеней свободы;система управления движением