Для выяснения влияния фазовой ошибки на статические и динамические характеристики гироскопа скорости MEMS с режимом обнаружения на основе силового уравновешивания (Force to Rebalance, FTR) была построена модель контура управления скоростью FTR с учетом фазовой ошибки для анализа влияния различных фазовых ошибок на динамические и статические характеристики. Сначала был представлен основной принцип работы гироскопа с режимом скорости FTR, кратко проанализировано влияние фазовой ошибки на режим привода. Далее была предложена модель контура управления скоростью FTR, включающая фазовые ошибки в обратной и прямой цепях, а также проведено эквивалентное преобразование этой модели. Затем на основе данной модели проанализировано влияние различных типов фазовой ошибки на динамические и статические характеристики гироскопа. В заключение проведена соответствующая экспериментальная проверка. Результаты эксперимента показали, что стабильность двухчасового измерения фазовой ошибки в обратной цепи составляет 0,0949, и эта ошибка изменяет только масштабный коэффициент; фазовая ошибка в прямой цепи является температурно-зависимым элементом, и после компенсации значения смещения нуля и дрейфа смещения нуля уменьшились в 4,8 и 2,9 раза соответственно, нестабильность смещения нуля и угловое случайное блуждание улучшились в 0,8 и 0,9 раза соответственно. Фазовую ошибку в обратной цепи можно получить путем масштабирования для компенсации, и эта ошибка влияет только на величину коэффициента масштаба, не влияя на смещение нуля и полосу пропускания; фазовая ошибка в прямой цепи серьезно ограничивает статические характеристики, но не влияет на динамические характеристики при комнатной температуре.

гироскоп скорости MEMS; силовое уравновешивание; фазовая ошибка; характеристики смещения нуля; коэффициент масштаба; полоса пропускания