Измерение динамического радиуса прецизионного центрифугирования на основе двойного гребня

ZHOU Siyu ,  

MA Yuxuan ,  

HE Dong ,  

ZHANG Chunjing ,  

TANG Li ,  

LIU Xin ,  

WANG Shanshan ,  

WU Guanhao ,  

摘要

Для достижения точного измерения динамического радиуса прецизионного центрифугирования на основе технологии измерения двухределного расстояния высокой скорости и точности, а также абсолютного измерения расстояния, в сочетании с оптической плоскостью пространства, состоящей из радиального зеркала и конвергентного пути света, была создана система внешнего измерения динамического радиуса центрифуги. Приводится структура устройства внешнего измерения на основе технологии измерения двойного расстояния и его принцип работы, анализируется влияние ошибок радиуса кривизны цилиндрического зеркала и настройки на точность измерения динамического радиуса, а также представлен метод коррекции взаимной ошибки. Затем была создана экспериментальная система для реального измерения динамического радиуса прецизионной центрифуги при различном ускорении и оценки точности статического и динамического измерения. Наконец, был проанализирован источник измерительной ошибки и предложен план оптимизации системы. Эксперимент показал: система эффективно измеряет изменения радиуса центрифугирования при ускорении от 0 до 15 g в динамической секунде. При 20-кратном скользящем среднем с частотой в 2 кГц динамическая точность измерения превышает 0,56 мкм, и максимальное значение динамического радиуса составляет 204,90 мкм, что соответствует скоростным требованиям и точности измерения динамического радиуса прецизионного центрифугирования, и может быть использовано для повышения точности калибровки ускорения центрифугирования.

关键词

абсолютное измерение расстояния; прецизионная центрифугирование; динамический радиус; внешний эталон; двойной гребень

阅读全文