Воздействие вакуумного присасывания на контроль формы линзы

WANG Xi ,  

YAO Peng ,  

BAI Jiarong ,  

LIU Xiang ,  

LI Fengguo ,  

CHU Dongkai ,  

HOU Shijie ,  

WEI Zonglei ,  

摘要

Вакуумное присасывание может обеспечить равномерное воздействие на линзы, уменьшить поверхностные царапины и широко применяется в области сборки оптических механических систем. Для изучения воздействия вакуумного присасывания на форму тонких плоских линз анализируем различные воздействия контакта линзы и приспособления на основе теории изгиба круглых упорных пластин и теории тонких пластин. Создаем модель для анализа воздействий на форму линзы под различными вакуумными условиями и проверяем осуществимость метода вакуумного присасывания для контроля формы линзы. В конце, анализируем изменения формы линзы до и после вакуумного присасывания. Результаты эксперимента показывают: до и после вакуумного присасывания, погрешность формы линзы с внутренней стороны снижается с 10 микрометров до 7 микрометров; зазор между линзой и инструментом снижается до 9 микрометров и даже до 4 микрометров, с минимальным значением 0,8 микрометра. Вакуумное присасывание делает форму линзы, которую она впитывает, более близкой к форме приспособления, подтверждая эффективность метода контроля формы линзы вакуумным присасыванием. В данной статье предлагается метод направленного управления формой линз при помощи вакуумного присасывания для повышения точности сборки и формования линз, который может уменьшить влияние первоначальной ошибки формы линзы на оптическую механическую систему.

关键词

Вакуумное присасывание; Плоские линзы; Присасывающий отверстия держатель; Деформация крепления; Управление формой

阅读全文