Для повышения потока сканирующих электронных микроскопов, таких как устройства силового электронного пучка, разработана система много-лучевого источника электронов на основе катодной разрядной лазерной трубки, исследованы методы проектирования и технологии изготовления рассеивающего объектива, рассекателя и микро-массивной электростатической линзы. Рассеивающий объектив был спроектирован на основе характеристик катодной разрядной лазерной трубки, проведено симуляционное вычисление оптической производительности рассеивающего пучка. С использованием технологии MEMS было достигнуто изготовление 3×3 и 10×10 многопортового рассекателя, разработана система сборки многопортовых устройств и достигнута точная сборка микро-массивной электростатической линзы; была установлена испытательная площадка много-лучевого источника электронов и проведена проверка производительности направления, рассева и фокусирования многолучевого источника электронов. Результаты показывают: диапазон рассеивающего пучка много-лучевого источника электронов составляет 600 мкм, плотность пучка в пределах рассеивания составляет 4.11 А/м2, равномерность 6.06%; успешно реализовано разделение 3×3 и можно отрегулировать, средний диаметр пятна пучка после фокусирования составляет 5.32 мкм, равномерность диаметра пятна пучка 5.91%, равномерность интенсивности пучка 4.36%, равномерность расстояния 3.06%, удовлетворяющее требования проектирования многолучевых устройств.

Электронная оптика; Много-лучевой источник электронов; Катодная разрядная лазерная трубка; Рассеивающий объектив; Микро-массивная электростатическая линза