Для преодоления технологических ограничений традиционной магнитореологической полировальной машины с установленной полировочным колесом при обработке оптических элементов с высокой крутизной кривизны и для решения ограничений существующей технологии виртуальной оси, применимой только в ограниченном угловом диапазоне, предлагается объединенная технология комплексной полировки механической оси и виртуальной оси под колесом полировки. На основе структурных особенностей магнитореологической полировальной машины с полировочным колесом под установленной, с использованием метода Денавитта-Хартенберга (DH) была установлена модель последующей обработки совместной работы механической оси машины и виртуальной оси и проведена теоретическая проверка методом геометрии. Путем экспериментов с обработкой шаровой поверхности виртуальной оси и полировки шара с диаметром 150 мм и радиусом кривизны 150 мм из расплавленного кварца была проверена точность модели последующей обработки. Наконец, была проведена полировка формы с диаметром 170 мм, радиусом кривизны 158 мм и максимальным углом нормали 32,54° из расплавленного кварца. Результаты эксперимента показали, что значения PV для формы поверхности после обрезки на 5 мм сходятся к 0.04λ, значения RMS сходятся к 0.005λ. Объединенная модель комплексной работы механической оси и виртуальной оси для полировки обладает высокой точностью и способна эффективно повысить возможности обработки оптических элементов с высокой точностью и крутизной кривизны, что предоставляет важное руководство для применения технологии магнитореологической полировки в обработке оптических элементов с высокой крутизной сложной кривизны.
关键词
Магнитореологическое полирование; высокая крутизна кривизны; виртуальная ось; установленная; последующая обработка