Для удовлетворения все более высоких требований к точности измерения смещения центра оптической линзы, в данной статье предлагается метод измерения смещения центра оптической линзы на основе полевой внешней интерференции. Данный метод использует фактическую ось линзы в качестве измерительной основы, путем измерения отраженного светового пучка испытуемой линзы и интерференционной полосы для получения фронта волны и аппроксимации многочленом Zernike, затем преобразует коэффициенты наклона Zernike в смещение центра испытуемой линзы, достигнув точного измерения смещения центра, решив проблему зависимости от внешнего вращающего стола. На основе внешней интерференции и принципа измерения смещения центра был проанализирован влияние флуктуаций интенсивности лазера и частоты внешней интерференции на результаты измерения фронта волны и смещения центра, результат показал, что ошибка измерения прямо пропорциональна флуктуации интенсивности лазера и частоты внешней интерференции, и также зависит от кривизны испытуемой линзы и смещения центра. Была построена система измерения смещения центра на основе внешней интерференции, было достигнуто точное измерение смещения центра и сравнение с результатами моделирования. Результаты моделирования показали, что точность измерений этой системы не ниже 0.06", и были проверены экспериментально. Результаты исследования показывают, что метод измерения смещения внешней интерференции может достичь более высокой точности измерения, чем традиционный метод самоориентации измерения смещения центра.

внешняя интерференция, интерференционное измерение, смещение центра, установка настройки