Исследование принципа и модели измерения перемещения на основе сферического массива магнитного сопротивления

CHEN Ziran ,  

QIN Lili ,  

WANG Wei ,  

XIONG Xin ,  

LIU Zhenyue ,  

ZHENG Yonghai ,  

摘要

В свете трудности измерения большого диапазона и высокой точности традиционного сенсора перемещения предложен новый метод измерения перемещения на основе сенсора магнитного сопротивления, построенного на сеточном массиве. С помощью перекрещивающейся пространственной возбуждающей обмотки создается перекрещивающееся изменение магнитного поля путем точного контроля над ограничением магнитного поля в периодической пространственной структуре сенсора. С использованием индуктивной обмотки для захвата изменения магнитного поля было установлено отображение магнитного сопротивления и перемещения, раскрывая механизм сенсора перемещения. Посредством оптимизации параметров моделирования электромагнитного поля был разработан и изготовлен сенсор, создан опытный стенд, проведены исследования погрешности измерения сенсора. Результаты эксперимента показали, что погрешность измерения сенсора в диапазоне 512 мм составляет ± 9,4 мкм, а разрешающая способность - 0,1 мкм. Используя миллиметровую сенсорную единицу, была достигнута микрометровая точность измерения, что сильно упростило производство сенсора, диапазон можно расширить по требованию без использования технологии разделения для достижения высокой точности измерения перемещения, можно использовать для измерения перемещения в суровых средах, таких как масложировые, имеет важное академическое и практическое значение.

关键词

сферический массив ; сенсор сети ; ограничение магнитного поля ; прямое перемещение

阅读全文