Компенсация ошибки преломления двух дисплеев в системе непосредственного отклонения фазовой решетки

TIAN Xiuxiu ,  

NI Yubo ,  

MENG Zhaozong ,  

GAO Nan ,  

YANG Zeqing ,  

ZHANG Guofeng ,  

YIN Wei ,  

ZHAO Hongwei ,  

ZHANG Zonghua ,  

摘要

В системе непосредственного отклонения фазовой решетки из-за особой структуры жидкокристаллического дисплея (ЛКД) и прозрачного дисплея (TD) свет преломляется в процессе измерения, что приводит к отклонению фазы. Поэтому был предложен метод компенсации ошибки преломления ЖКД и TD в сопровождаемой компьютером системе. Этот метод моделирует два дисплея как единую прозрачную структуру, использует алгоритм трассировки лучей для построения модели ошибки преломления в процессе измерения, анализирует путь распространения света и определяет параметры, необходимые для решения отклонения фазы. Затем, используя технологию трехмерного зрения с оптимизированным алгоритмом обратной зависимости области доверия, калибруют параметры преломления двух дисплеев, а затем на основе геометрических отношений в системе анализируют углы преломления процесса калибровки. Наконец, используя выведенную формулу для обработки глубинной информации в системе и последующей коррекции отклонения фазы пиксель за пикселем для повышения точности измерительной системы формы. Экспериментальные результаты показали, что использование предложенного метода компенсации ошибки преломления уменьшило максимальную абсолютную ошибку между поверхностью отражения кольцевого зеркала от 33 мкм до 21 мкм и среднеквадратичную ошибку для поверхностей отражения отрицательного зеркала и плоского зеркала с 38,55 мкм до 24,92 мкм, что может повысить общую точность системы измерения формы трехмерной зеркала на 30-40%. Этот метод успешно уменьшил ошибку преломления двух дисплеев и увеличил точность измерения трехмерной формы зеркала системы.

关键词

Трехмерное измерение; непосредственное измерение фазового отклонения; жидкокристаллический дисплей; прозрачный дисплей; ошибка преломления

阅读全文