Для повышения способности функции удаления ошибок плоскости приближаться к длине волны пространственных волн, проведено исследование и оптимизация сходимости ионного пучка с миллиметровым диаметром и представлен метод анализа способности формирования плоскости 'раковины' на основе многочастотного формирования, путем анализа распределения среднеквадратичной плотности в частотной области сходимости каждой частотной полосы и результатов формирования различных периодов плоскости с разными амплитудами, квантифицирующий оценку способности коррекции ошибок функции удаления ошибок при мультичастотной ошибке. На этой основе был разработан анализ стратегии компенсации формирования и предложен метод повышения конвергенции на основе временной компенсации в частотной области, улучшающий конвергенцию на различных частотах и с помощью моделирования и эксперимента подтверждающий это. Результаты эксперимента показали, что формирование 'раковины' может обеспечить эффективный анализ возможности коррекции ошибок многочастотного формирования, а метод компенсации времени удержания может эффективно увеличить конвергенцию многочастотного участка функции удаления ошибок внутри одного оборота. Для ключевой частотной полосы с точкой перехода способности удаления ошибок функции удаления ошибок (0.186~0.385 мм^-1) фактическая средняя сходимость увеличилась с 76,4% до 91,7%. Этот метод помогает достичь равномерной сходимости ошибок функции удаления ошибок на всей частотной области при формировании отдельной функции удаления ошибок, подходит для формирования высокоточных оптических элементов.

сверхточная обработка; формирование ионов; время удержания; сходимость; функция удаления ошибок для ионного пучка; способность формирования