Осевая асферическая форма асимметрична, и кривизна её поверхности изменяется нелинейно, что представляет вызов для высокоточного измерения формы поверхности. Для решения проблемы сильной зависимости существующих методов измерения формы осевых асфер от начальной установки детали и сложности адаптации к изменению кривизны в данной статье предлагается метод адаптивного измерения осевых асферических форм на основе пространственных ограничений и дифференциальной конфокальной технологии, обеспечивающий измерение осевых асфер без зависимости от начальной установки, адаптацию к изменениям кривизны и высокую точность. Во-первых, на основе принципа сканирования с перемещением и вращением и устойчивой к углу наклона поверхности способности дифференциальной конфокальной технологии к точной фокусировке был построен пространственный ограничительный модель исходя из расстояния и угла наклона между планируемыми и измеряемыми точками. На основе этой модели была оптимизирована алгоритм планирования спиральной траектории сканирования с критерием равной площади, что позволило динамически адаптировать кривизну траектории измерения осевой асферы. Метод был применён для измерения осевой асферы и наклонной плоскости под углом 20°, результаты сравнивались с результатами интерферометра Zygo по точкам. Значения среднеквадратичного отклонения (RMS) отличий формы поверхности были лучше 10 нм, соответствующие 3σ лучше 5 нм, что удовлетворяет требованиям высокоточного измерения осевых асфер.

пространственные ограничения;дифференциальная конфокальная;осевая асфера;адаптивное измерение;планирование траектории