Измерение деформации поверхности при помощи технологии двустороннего рассеяния света с контролем фазы

QI Siyuan ,  

FANG Weidong ,  

LIU Yilong ,  

CHANG Qing ,  

GAO Shuai ,  

WANG Shengjia ,  

摘要

Технология двустороннего рассеяния света с контролем фазы для измерения деформации поверхности

关键词

Измерение интерференции; двустороннее рассеяние света; контроль фазы; временной сдвиг; измерение деформации поверхности

阅读全文