Для подавления вибрации одиночного электроизогнутого зеркала при работе и уменьшения вибрации, возникающей на поверхности зеркала при работе, предложен метод подавления вибрации одиночного электроизогнутого зеркала на основе формирования входного сигнала. Путем анализа структуры одиночного электроизогнутого зеркала и построения динамической модели одиночного электроизогнутого зеркала, использования программного моделирования для анализа влияния формирующего устройства на ступенчатую характеристику отклика одиночного электроизогнутого зеркала и последующего построения экспериментальной платформы для проверки. В результате симуляции полев сферической поверхности зеркала для анализа эффекта подавления вибрации в реальном управлении одиночным электроизогнутым зеркалом. Результаты эксперимента показали, что при частоте управления 5 кГц с использованием формирующего устройства перерегулирование смещения одиночного электроизогнутого зеркала снизилось с 32,1% до практически нуля, а время настройки уменьшилось с 4,30 мс до 0,57 мс. Кроме того, в процессе симуляции переключения формы поверхности зеркала перерегулирование уменьшилось с 34% до менее 1%, а время настройки уменьшилось с 3,95 мс до 0,58 мс, что повысило скорость и точность управления зеркалом. Разработанное формирующее устройство может эффективно подавлять вибрацию одиночного электроизогнутого зеркала.

одиночное электроизогнутое зеркало; формирование входного сигнала; подавление вибрации; адаптивная оптическая система