Для достижения высокоточного измерения сложных поверхностей была создана система измерения методом полосного отражения на основе технологии фазового смещения. Были исследованы конструкция системы измерения, состоящей из камеры, дисплея и объекта измерения, системная калибровка и алгоритмы обнаружения. В зависимости от размеров и формы поверхности объекта были отобраны высококачественный дисплей и камера, для которых проведена индивидуальная калибровка. С помощью высокоточного измерительного манипулятора определялись пространственные взаимосвязи между тремя элементами, а система калибровалась с использованием компьютерного оптимизированного моделирования CODEV. В конце был реализован высокоточный контроль сложных поверхностей с использованием интегрального алгоритма реконструкции. Экспериментальные результаты показали, что данная измерительная система достигла сопоставимой точности с LUPHOScan и ZYGO & CGH, при этом точность измерения RMS фронта волны превышает λ/50. Система имеет простую конструкцию, широкий динамический диапазон, высокую помехоустойчивость, что улучшает эффективность и точность измерения сложных поверхностей, удовлетворяет требованиям точности и обеспечивает надежность обработки и сборки таких деталей, тем самым эффективно повышая производительность оборудования.

Оптическое измерение;Сложные поверхности;Полосное отражение;Технология фазового смещения;Интегральная реконструкция