В связи с высокой стоимостью традиционного лазерного конфокального микроскопа и ограничениями традиционных методов машинного зрения, связанными с неравномерным освещением дна отверстия, размытием изображения и сложностью извлечения признаков, разработана система автоматического измерения на базе машинного зрения с коаксиальным источником света. Система состоит из промышленной камеры, телеобъектива с коаксиальным источником света и трёхосевой прецизионной платформы перемещения, использует гибридный алгоритм фокусировки и распознавания признаков в качестве основной стратегии измерения. Экспериментальные результаты показывают, что система работает стабильно и надежно с отличными характеристиками. Проведено измерение 7 образцов с различным коэффициентом глубина/диаметр (3.17 ~ 7.87), повторяемость измерения диаметра составляет 0.56~4.58 мкм, минимальная повторяемость измерения глубины достигает 0.80 мкм, коэффициент вариации всего 0.09%. Отклонение среднего значения измерения от номинального значения обычно менее 1%. Система обеспечивает эффективное и высокоточное измерение геометрических параметров микроскопических отверстий с большим коэффициентом глубина/диаметр, предлагая низкозатратное техническое решение для контроля качества микроструктур в прецизионном производстве.

Измерение микропор; коэффициент глубина/диаметр; автофокус; функция градиента Tenengrad; метод Отсу