В связи с проблемой проверки плоскостности фокальной плоскости сшивающего детектора была разработана система измерения с двумя параллельно установленными датчиками на общей установке. Для систематических ошибок в этой системе предложена модель компенсации ошибок с многопозицией и устойчивостью, чтобы обеспечить высокоточное измерение плоскостности. Сначала проанализирован механизм передачи ошибок в конструкции двойного датчика на общей установке. Затем, используя систематическую ошибку, фиксированную в системе координат прибора, и пространственные инварианты калибровочной формы зеркала, зафиксированной в системе координат зеркала, была построена модель компенсации ошибок с многопозицией и устойчивостью, которая разлагает дифференциальные результаты измерений на поле систематической ошибки, калибровочную форму зеркала и сдвиг положения, а систематическая ошибка калибруется и компенсируется с помощью многофазных измерений сдвигов и переворотов. Результаты экспериментов показали, что при использовании данных измерений высокой точности Luphoscan в качестве истинного эталона после компенсации значительно подавляются общие наклоны и периодические полосовые ошибки в исходном дифференциальном поле. Количественная оценка показала, что остаточные значения PV, RMSE и MAE для предлагаемого метода составляют 4.400, 0.560 и 0.446 мкм соответственно, превосходя такие методы, как LightGBM; при этом снижение тренда по оси X достигает 97.82%, а снижение периодичности по оси Y составляет 85.85%. Предложенная модель компенсации ошибок эффективно отделяет и компенсирует фиксированные систематические ошибки в системе измерения с двумя параллельными датчиками на общей установке, предлагая эффективный метод для высокоточного контроля плоскостности фокальной плоскости сшивающего детектора.

Оптическое обнаружение; Сшивающий детектор; Дифференциальные измерения; Проверка плоскостности; Компенсация систематических ошибок