Стеклянные асферические цилиндрические линзы с матрицей обладают преимуществами низких аберраций, высокой коллимации, хорошей однородностью освещения и высокой степенью интеграции, имеют широкие перспективы применения в области высокомощных лазеров и оптической связи. Однако их производство сталкивается с трудностями обработки матриц и сложностью контроля формы при прессовании. В данной статье создана модель имитации матрицы цилиндров для оптимизации дизайна матрицы и прогнозирования ошибок формы с целью компенсации. Предложена комплексная технология изготовления микроструктурных матриц для низкоплавкого стекла, включающая выбор материала матрицы, термическую обработку Ni-P покрытия, обработку алмазным резцом с одной точкой и нанесение Ti-DLC покрытия для повышения твердости и износостойкости. Прессование проводилось с использованием многоступенчатого нагрева и отжига, а также поэтапного контроля скорости прессования. Результаты показывают, что средняя шероховатость поверхности цилиндрической асферической матрицы Sa составляет 1,553 нм, средняя точность формы PV 0,208 мкм, точность формы прессованных стеклянных асферических цилиндрических линз PV≤0,3 мкм, шероховатость поверхности Sa≤3 нм. Метод предварительной компенсации и технология изготовления матриц могут служить ссылкой для массового производства микроструктурных оптических элементов из низкоплавкого стекла.

Асферическая цилиндрическая матрица;Стеклянная линза;Предварительная компенсация;Изготовление матриц;Матричное прессовое формование