El daño subsuperficial en el vidrio de cuarzo es inevitable durante el proceso de pulido, y la detección del daño subsuperficial en el vidrio de cuarzo ha sido siempre un foco de atención en la optimización del proceso de fabricación del vidrio de cuarzo. Este artículo combina el método de dispersión láser polarizada y el método confocal de dispersión láser, propone un método de detección no destructiva basado en la microscopía confocal láser polarizada para los daños subsuperficiales en el vidrio de cuarzo durante el pulido, y construye un sistema de detección no destructivo. Se detectaron los daños subsuperficiales en vidrio de cuarzo pulido con diferentes líquidos de pulido de diamante, y los resultados de detección para el mismo lote de vidrio de cuarzo se verificaron mediante un método destructivo de microscopía de sección transversal. Al comparar los resultados de detección no destructiva y destructiva, el error relativo en la profundidad del daño subsuperficial fue inferior al 5%, y la configuración de las grietas subsuperficiales fue básicamente la misma. Los resultados muestran que el método de detección no destructiva mediante microscopía confocal láser polarizada puede realizar una detección cuantitativa y no destructiva de los daños subsuperficiales en el pulido del vidrio de cuarzo. Este estudio puede proporcionar un medio de detección eficaz para la optimización posterior del proceso de fabricación del vidrio de cuarzo.

daño subsuperficial; dispersión láser polarizada; imagen confocal; microscopía de sección transversal; vidrio de cuarzo