La mesa de microdesplazamiento es un componente clave para lograr un posicionamiento de alta precisión. Las mesas tradicionales tienen pocos grados de libertad y una baja resolución, lo que no satisface los requisitos de la aplicación. Por ello, se propuso una estructura de mesa de microdesplazamiento de alta precisión con seis grados de libertad y se verificó su rendimiento. En la estructura general se utiliza un método de accionamiento híbrido "serie-paralelo" y una estructura hueca, distribuyendo razonablemente los movimientos de seis grados de libertad en tres capas: la capa de traslación, la capa de rotación y la capa de soporte. Se diseñó y desarrolló un sistema de control de movimiento para la mesa y un software compatible para su uso conjunto. Los resultados experimentales muestran que los desplazamientos lineales de los ejes X, Y y Z son mejores que 20, 20 y 37 μm respectivamente, los recorridos de desplazamiento angular son mejores que 39″, 33″ y 27″; la resolución del desplazamiento lineal es mejor que 0,7 nm y la resolución del desplazamiento angular es mejor que 0,1″. La mesa de microdesplazamiento propuesta con seis grados de libertad presenta ventajas como mayor número de grados de libertad y una resolución extremadamente alta en comparación con las mesas tradicionales, y tiene potencial para aplicaciones extensas en procesamiento ultrapreciso y fabricación microelectrónica.

mesa micro;resolución subnanométrica;seis grados de libertad;sistema de control de movimiento