Las marcas de posicionamiento del wafer son pequeñas y tienen varias formas. La función de enfoque tradicional tiene problemas de baja estabilidad y baja sensibilidad. Para resolver estos problemas, se propone un algoritmo de evaluación de enfoque adaptativo basado en la varianza de gradiente multicanal. Primero, se extraen los píxeles de borde característicos de la imagen de la marca mediante un muestreo adaptativo; luego, se combinan las funciones de Brenner y Roberts para construir una función de evaluación de gradiente multicanal adecuada para las marcas de posicionamiento del wafer, se evalúan los puntos muestreados, se obtiene el valor inicial de la función de evaluación de enfoque; finalmente, se calcula la varianza de los valores iniciales de la función de evaluación de enfoque para el conjunto de imágenes, se optimiza la resistencia al ruido de la función, y se obtiene el valor final de la función de evaluación de enfoque. Los resultados experimentales muestran que el algoritmo propuesto en este documento reduce la fluctuación de la región plana en un 61,49% en comparación con el algoritmo de evaluación tradicional, y aumenta la sensibilidad en 2,56 veces. Este algoritmo proporciona una estrategia de cálculo más efectiva para lograr un enfoque automático de alta sensibilidad para las marcas de posicionamiento del wafer y otras imágenes de marcas nanonanoestructuradas con estructuras de borde evidentes.

imaging system;image quality assessment;fringe analysis;auto-focusing;focus function