Estudio de la técnica de medición del desplazamiento central basada en la interferometría de desplazamiento externo de campo de visión completo

YANG Yongkang ,  

LIU Anqi ,  

ZHANG Wenxi ,  

WU Zhou ,  

摘要

Para satisfacer la creciente demanda de precisión en la medición del desplazamiento central de las lentes ópticas, este artículo propone un método de medición del desplazamiento central basado en la interferometría de desplazamiento externo de campo de visión completo. Este método utiliza el eje óptico real de la lente como referencia de medición, midiendo las franjas de interferencia generadas por el haz reflejado de la lente de prueba y el haz de referencia para obtener el frente de onda y el ajuste de polinomios Zernike, luego convertir los coeficientes de pendiente de onda Zernike en desplazamiento central de la lente de prueba, logrando una medición de alta precisión del desplazamiento central y resolviendo la dependencia de la plataforma giratoria externa. Basándose en el principio de la interferometría de desplazamiento externo y la detección del desplazamiento central, se analizó el efecto de las fluctuaciones de intensidad láser y las fluctuaciones de frecuencia de interferencia externa en los resultados de medición de onda y desplazamiento central; los resultados mostraron que el error de medición está positivamente correlacionado con las fluctuaciones de intensidad láser y las fluctuaciones de frecuencia de interferencia, y también depende de la curvatura de la lente de prueba y el desplazamiento central. Se construyó un sistema de medición del desplazamiento central basado en la interferometría de desplazamiento externo, logrando una medición de alta precisión del desplazamiento central y comparándolo con los resultados de simulación. Los resultados de la simulación mostraron que la precisión de medición de este sistema es de al menos 0,06 , y los resultados de la simulación fueron confirmados por la experiencia. Los resultados de la investigación muestran que en comparación con el método tradicional de alineación automática, el método de interferometría de desplazamiento externo puede lograr una mayor precisión de medición.

关键词

desplazamiento externo; medición de interferencia; desplazamiento central; equipo de ajuste

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