Estudio sobre la tecnología de medición del descentramiento del centro basada en la interferometría externa de campo completo

YANG Yongkang ,  

LIU Anqi ,  

ZHANG Wenxi ,  

WU Zhou ,  

摘要

Para satisfacer la creciente demanda de precisión en la medición del descentramiento del centro de las lentes ópticas, este artículo propone un método de medición del descentramiento del centro de las lentes ópticas basado en la interferometría externa de campo completo. Este método utiliza el eje real de la lente como base de medición, mediante la medición del haz de luz reflejado por la lente a probar con el haz de luz de referencia para obtener el frente de onda y ajustar el polinomio Zernike, luego convertir los coeficientes de inclinación de Zernike en el descentramiento del centro de la lente a prueba, logrando así una medición precisa del descentramiento del centro y resolviendo la dependencia de una plataforma de rotación externa. Sobre la base de la interferometría externa y el principio de detección del descentramiento del centro, se analizó el impacto de las fluctuaciones de intensidad del láser y las fluctuaciones de frecuencia externa en los resultados de medición del frente de onda y el descentramiento del centro. Los resultados mostraron que el error de medición es directamente proporcional a las fluctuaciones de intensidad del láser y de la frecuencia externa, y también depende de la curvatura de la lente a prueba y del descentramiento del centro. Se construyó un sistema de medición del descentramiento del centro basado en la interferometría externa, lo que permitió una medición precisa del descentramiento del centro y una comparación con los resultados de la simulación. Los resultados de la simulación mostraron que la precisión de medición de este sistema no es inferior a 0,06", y fueron verificados experimentalmente. Los resultados del estudio indican que el método de medición del descentramiento por interferometría externa puede lograr una mayor precisión de medición que el método tradicional de autocollimation para medir el descentramiento del centro.

关键词

interferometría externa, medición interferométrica, descentramiento del centro, equipo de ajuste

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