Para mejorar el flujo de electrones de dispositivos como los microscopios electrónicos, se diseñó un cañón electrónico termoemisor sumergido en un campo magnético para recolectar eficazmente los electrones emitidos por el cátodo, lo que aumenta el flujo de emisión efectivo. Se realizó un análisis teórico de las características ópticas electrónicas del cañón electrónico termoemisor sumergido en un campo magnético, comparando el rendimiento de la lente magnética para tres estructuras: zapato monopolar, dos brechas axiales de zapato y dos brechas radiales de zapato. Sobre la base de la estructura de dos brechas axiales de zapato, se diseñó un cañón electrónico termoemisor sumergido magnéticamente, y se realizó una simulación de la variación de los parámetros del haz, el flujo de emisión, la densidad del haz angular y el brillo en función de la lente sumergida. Sobre la base de la plataforma experimental, se probó la distribución del campo magnético de la lente sumergida con el flujo de emisión efectivo del cañón electrónico termoemisor sumergido. Los resultados del experimento mostraron: la distribución real del campo magnético de la lente sumergida es prácticamente idéntica al valor simulado; para el mismo tamaño de apertura, el flujo de emisión efectivo del cañón electrónico termoemisor sumergido a un voltaje de aceleración bajo de 3.3 kV es de 44.97 nA, y a un voltaje de aceleración alto de 23.5 kV es de 638.12 nA, aproximadamente 4 veces mayor que el del cañón electrónico termoemisor común.
关键词
Óptica electrónica; Cañón electrónico de campo térmico; Lente sumergida magnéticamente; Lente de zapato bipolar