Para mejorar la capacidad de las funciones de eliminación de errores superficiales para corregir errores de forma cercanos a su longitud de onda espacial, se llevó a cabo un análisis y optimización de la convergencia del haz de iones de diámetro milimétrico y se propuso un método de análisis de la capacidad de corrección de forma basado en la 'cáscara' de múltiples frecuencias, mediante el análisis de las características de distribución espacial de la densidad cuadrática media en el dominio de frecuencia y las tasas de convergencia de cada banda de frecuencia, y los resultados de la corrección de diferentes amplitudes de períodos de forma, evaluando cuantitativamente la capacidad de corrección transfrecuencia de las funciones de eliminación de errores. En base a esto, se desarrolló una estrategia de compensación de procesamiento y se propuso un método de optimización de convergencia basado en la compensación temporal del filtrado de frecuencia, lo que mejora la convergencia de las diferentes bandas de frecuencia y fue verificado por simulación y experimento. Los resultados experimentales muestran que la formación de la 'cáscara' puede lograr un análisis efectivo de la capacidad de corrección de errores de forma multifrecuencia, y el método de compensación temporal puede mejorar eficazmente la convergencia de la función de eliminación de errores en el rango de frecuencias corregibles en una sola revolución. Para las bandas de frecuencia clave con un cambio de capacidad de eliminación de errores de la función de eliminación de errores asociada a un ancho de banda de mitad de 2 mm (0.186~0.385 mm^-1), la convergencia promedio real aumentó del 76.4% al 91.7%. Este método ayuda a lograr una convergencia uniforme de errores en todo el rango de frecuencias al formar una función de eliminación de errores individual, y es adecuado para la fabricación de elementos ópticos de alta precisión.

maquinado ultra preciso; corrección de iones; tiempo de retención; convergencia; funciones de eliminación de errores de forma; capacidad de retención