En respuesta a las necesidades de aplicación del microscopio electrónico de difracción de electrones de alta energía reflectante de alta resolución (RHEED) en el campo de la fabricación de microelectrónica y el análisis de superficies, donde los cañones electrónicos con larga distancia de trabajo, micro spot y pequeño ángulo de haz son componentes clave para lograr una detección RHEED de alta resolución, se desarrolló un cañón electrónico de haz paralelo tipo RHEED de micro spot. Se analizaron las características del sistema óptico electrónico del cañón, se diseñó mediante simulación óptica electrónica una lente de enfoque de baja aberración; se construyó una plataforma experimental para probar el diámetro del spot, la corriente del haz y las características del ángulo del haz del cañón desarrollado, y se realizó una prueba de imagen de difracción sobre una muestra de grafito pirolítico altamente orientado (HOPG). Los resultados experimentales muestran que, a una distancia de trabajo de 500 mm, el diámetro del spot del cañón electrónico paralelo tipo RHEED es de 47,1 μm (voltaje de aceleración de 30 kV), la corriente de emisión y el ángulo del haz son 144,96 μA y 0,289 mrad (voltaje de aceleración de 15 kV), respectivamente, obteniéndose manchas de difracción claras correspondientes a la intensidad y al factor estructural cristalino en la muestra HOPG.

óptica electrónica; difracción electrónica de alta energía reflectante; cañón electrónico; haz electrónico casi paralelo